안녕하세요. 반도체 회사 재직중인 엔지니어 입니다. 
질문에 앞서서 항상 정성스러운 답변 주셔서 정말 감사드립니다. 

저는 wafer의 적층을 하는 PKG 부서에 있으며 wafer간의 부착과 탈착을 함에 있어

그 사이에 Deposition을 하게 되고 탈착이 양호하게 이루어지려면 막질의 적당한 hardness가 중요한 공정입니다. 

막질의 hardness를 측정하기 위해서 Deposition후 wet clean을 하여 etch amount를 측정하는데

chamber의 pm을 변경점으로 wafer의 wet etch 후 center 부분만 막질이 거의 사라져서 막질에

구멍이 난것처럼 보이는(막질 색이 거의 없어지고 wafer Si의 색만 남음)현상이 발생하고 있습니다.

(기존에는 약 센터처인트200A정도만 etch되었었는데 현재는 1000A이상 etching됨)

RF Plasma에 문제가 있다고 판단하여 점검해본 사항은 아래와 같습니다. 


 1. Heater의 tilt확인 및 shower head와의 gap 최적화 > 현상동일
2. shower head 교체 > 현상동일
3. Heater unit 재장착 > 현상동일
4. Power가 약해 막질이 약해졌을거라 추정하여 RF Generator RF PWR 실계측 시 양호
5. Generator가 정확히 RF를 쏴주지만 matcher가 챔버로 파워를 정확히 전달하지 못할거라 추정하여 matcher swap -> swap 후에도 현상동일
6. RF ROD Swap > 현상동일

 

게시글들을 살펴봤을때 Plasma의 밀도는 확산에 의해 분포하므로 중앙에서 가장 높다고 하니 

단편적으로 생각하면center 영역에서의 막질이 더욱 단단하고 멀어질수록 무를것이라고 생각했는데..

 

막질이 약해져 wet etch 후 ER이 wafer center 부분만 높아진 현상 관련 추가적으로 점검해야할 point가 어떤것이 있을까요...?

또한 막질의 단단하고 약한정도에 영향을 주는 Factor는 어떤것을이 있을까요?

 

RF 및 Plasma에 대한 기초적인 지식이 부족하여 교수님 도움을 얻고자합니다.

참고로 해당 공정은 상온(25도)에서 진행되며 약 200W 정도의 약한 전력을 사용합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4865
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16209
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51247
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63741
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83499
576 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 538
575 교수님 질문이 있습니다. [1] 540
574 전자 온도 구하기 [1] file 550
573 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 553
572 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 555
571 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 556
570 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 570
569 ICP 후 변색 질문 573
568 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 578
567 plasma 형성 관계 [1] 580
566 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 584
565 Collisional mean free path 문의... [1] 588
564 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 593
563 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 599
562 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 607
» CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 612
560 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 621
559 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 621
558 알고싶습니다 [1] 625
557 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 630

Boards


XE Login