Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.
2020.07.30 19:43
안녕하세요
재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.
약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데
그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.
Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....
O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.
O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.
그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?
작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.
무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76543 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20078 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57116 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
683 | ccp-icp | 21425 |
682 | 47th American Vacuum Society International Symposium 2000 | 21423 |
681 | CCP 에서 Area effect(면적) ? | 21361 |
680 | 플라즈마 실험 | 21338 |
679 | Breakdown에 대해 | 21334 |
678 | 플라즈마 측정기 [1] | 21329 |
677 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21324 |
676 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21307 |
675 | ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] | 21183 |
674 | 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [1] | 21098 |
673 | 플라즈마란? | 21048 |
672 | 대기압플라즈마 진단 | 21020 |
671 | RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] | 20936 |
670 | UBM 스퍼터링 장비로... [1] | 20886 |
669 | plasma cleanning에 관하여.... | 20826 |
668 | IEDF EQP에 대한 답변 | 20801 |
667 | 교재구입 | 20724 |
666 | 이온주입량에 대한 문의 | 20724 |
665 | Three body collision process | 20634 |
664 | Lissajous figure에 대하여.. | 20612 |
제 생각에는 Asher chamber 에서 Oring 근방의 열변화 및 산화에 의한 경화가 심할 수 밖에 없을 것 같습니다. 플라즈마의 역할이 열(에너지)전달과 산화(해리 진작)이 고려되고 세정 후 byprodcut가 oring 열화에 기여할 것 같지는 않습니다. 개선책은 딱히 떠오르지 않습니다만, 디자인으로 일부 늦출 수 있지 않을지 모르겠습니다. (plasma 열 전달과 plasma 확산 부에서 현재위치 보다 떨어뜨리거나 냉각효율이 높게 oring groove 를 세밀하게 조절하는 방법 등이 어떨까 합니다. 자칫 공정에 영향을 미칠 수 있는 부분이니 데이터를 축적해서 교정해 나가는 것이 좋겠습니다.