번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [60] 1483
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 1847
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49508
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59711
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 75503
523 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 1992
522 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 572
521 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 898
520 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 1398
519 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 694
518 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 15708
517 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 589
516 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 1847
515 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 312
514 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 1811
513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 361
512 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 328
511 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 7527
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 461
509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 1615
508 진학으로 고민이 있습니다. [2] 629
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 542
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1198
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 360
504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 784

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