번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5609
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51349
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64213
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84230
571 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 565
570 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 441
569 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 834
568 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 863
567 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 814
566 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4620
565 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 566
564 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1293
563 플라즈마볼 제작시 [1] file 1932
562 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2188
561 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 433
560 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3025
559 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16147
558 알고싶습니다 [1] 729
557 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1708
556 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 438
555 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 484
554 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2204
553 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1220
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2057

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