Others SCCM 단위에 대하여 궁금합니다.

2004.06.25 13:02

관리자 조회 수:144403 추천:425


===============================<질문>=======================================

안녕하십니까??
궁금한게 있어여...
플라즈마 장비를 공부하다가 이상한 단위를 만나서요...
좀 알려 주세요.. sccm 이라는 건데요...
무슨 가스량을 나타내는 단위이긴 한거 같은데.. 정확한 내용을 몰라서요..
어떤 뜻인지..알고 계시면 좀 알려주세요.. 부탁 드립니다.. 좋은 하루 되세요...


==============================<답변>========================================

SCCM 은 flow rate를 의미합니다. 즉 torr-liter/sec (t-l/s)와 같이 쓰입니다.
sccm은 standard cc per minute로 (0C, 1atm 상태에서의 값입니다.)
1sccm= 6.02e23/22400cm^3 molecules / min 즉 분당에 2.7e19개의 분자입자들이 흘러들어가는 정도의 기체유량을 의미합니다.
참고로 1 t-l/sec와는 79.05sccm인 관계가 있으며 1 t-l/sec= 2.13e21 molecules/min의 관계입니다.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76670
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92160
153 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 822
152 Descum 관련 문의 사항. [1] 3714
151 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 445
150 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5923
149 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 466
148 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
147 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3440
146 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5670
145 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 481
144 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 940
143 Collisional mean free path 문의... [1] 785
142 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 14141
141 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1035
140 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24120
139 플라즈마 기초입니다 [1] 1279
138 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1558
137 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1828
136 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6537
135 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 993
134 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
쓰기
태그

Boards

XE Login