kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76681 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57152 |
| » | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68673 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92189 |
| 153 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 823 |
| 152 | Descum 관련 문의 사항. [1] | 3716 |
| 151 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 445 |
| 150 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5923 |
| 149 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 466 |
| 148 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
| 147 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3442 |
| 146 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5673 |
| 145 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 481 |
| 144 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 940 |
| 143 | Collisional mean free path 문의... [1] | 785 |
| 142 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14141 |
| 141 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1036 |
| 140 | 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! | 24121 |
| 139 | 플라즈마 기초입니다 [1] | 1279 |
| 138 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1559 |
| 137 | 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] | 1832 |
| 136 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6540 |
| 135 | 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] | 993 |
| 134 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 341 |