Sheath 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리

2015.05.09 12:46

똥영 조회 수:2235

저는 최근 반도체 증착장비에 대해 공부하다 플라즈마에 대해 궁금증이 생겨서 질문을 남깁니다.
 
스퍼터링법에서 플라즈마 발생 원리는 챔버내에 가스를 주입하고 타겟(도체)에다 DC전원으로 음전압을 가해주어 타겟이 음극이 되게되고
 
음극이 된 타겟에서 전자들이 튀어나와 가스들과 충돌하고 가스들이 전자의 에너지를 받아 이온화가 되어 양이온과 전자로 나눠지게 되는 플라즈마 상태가 형성되는걸로 알고 있습니다.
 
하지만 도체인 타겟말고 부도체인 타겟을 사용하게 될때는 DC말고  RF파워를 사용을 한다고 하는데
 
타겟이 도체인 경우 음전압을 가해주면 전자의 이동이 쉬워 음극이 되게되고 이 음극이 된 타겟에서 전자들이 나와 가스와 충돌하여 플라즈마가 되는데
 
타겟이 부도체인경우 RF파워로 음전압 가해주어도 전자의 이동이 쉽지가 않으니 음극이 되지 않아 전자가 방출이 되지 않아서 플라즈마가
 
생성이 되지 않는다고 생각이 되는데 어떻게 해서 타겟이 부도체인데 플라즈마가 형성이 되는지 궁금해서 질문을 드립니다.
이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20169
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68692
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92268
153 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 823
152 Descum 관련 문의 사항. [1] 3719
151 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 445
150 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5926
149 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 468
148 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
147 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3443
146 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5676
145 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 481
144 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 941
143 Collisional mean free path 문의... [1] 787
142 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 14141
141 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1037
140 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24122
139 플라즈마 기초입니다 [1] 1281
138 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1561
137 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1840
136 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
135 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 997
134 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
쓰기
태그

Boards

XE Login