번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48518
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 49110
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 54811
515 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 162
514 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 430
513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 181
512 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 155
511 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 2127
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 228
509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 325
508 진학으로 고민이 있습니다. [2] 355
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 308
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 438
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 178
504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 332
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 275
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 776
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 380
500 공정플라즈마 [1] 342
499 임피던스 매칭회로 [1] file 1065
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 179
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 377
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 235

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