번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48332
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 48012
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 53773
482 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 92
481 교수님 질문이 있습니다. [1] 221
480 wafer bias [1] 146
479 Group Delay 문의드립니다. [1] 62
478 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 127
477 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 149
476 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 245
475 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 206
474 PEALD관련 질문 [1] 255
473 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 290
472 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 286
471 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 288
470 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 183
469 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 338
468 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 117
467 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 331
466 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 320
465 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 250
464 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 293
463 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 466

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