Plasma Source 플라즈마 챔버
2021.03.18 20:01
안녕하십니까. 반도체 업체에 근무하고 있는 회사원입니다.
다름이 아니라 플라즈마에 챔버에 대해 질문이 있어 이렇게 글을 올립니다.
플라즈마 챔버 설계를 진행하려 합니다.
혹시....... Gas를 NF3를 사용하게 되면 스테인리스 챔버로 제작를 진행해도 괜찮을까요?
아니면 알루미늄 챔버로 제작을 해야 하나요?
위 두가지 챔버 제작의 경우 사용 불가한 이유가 있으면 알고 싶습니다.
너무 궁긍하여 글을 올립니다.
답변 부탁드립니다.
댓글 2
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20183 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
| 669 |
RF Sputtering Target Issue
[2]  | 597 |
| 668 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 601 |
| 667 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 604 |
| 666 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 605 |
| 665 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 605 |
| 664 |
진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문
[1] | 609 |
| 663 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 609 |
| 662 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 615 |
| 661 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 615 |
| 660 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 618 |
| 659 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 625 |
| 658 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 634 |
| 657 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1] | 636 |
| 656 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 637 |
| 655 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 657 |
| 654 | Polymer Temp Etch [1] | 662 |
| 653 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 666 |
| 652 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 669 |
| 651 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 678 |
| 650 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 679 |
챔버 재료 선택에 앞서 처리 대상인 공정을 좀 더 면밀하게 조사사실 필요가 있어 보입니다. 일반적으로는 식각 공정에 metal을 직접 노출시키지는 않으며 Al 챔버를 사용하는 이유는 열팽창/수축에 유리하기 때문입니다. 따라서 Al2O3 coating을 한 내벽 shroud 을 장착합니다. 화학반응+내열조건에 대해서 반드시 고려하셔야 하고, 진공 seal 과 전기적 접촉도 중요하다고 알고 있습니다. 참고가 되었으면 합니다.