안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.

RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

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664 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 605
663 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 607
662 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 607
661 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 612
660 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 615
659 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 623
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657 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 632
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653 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 662
652 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 668
651 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 671
650 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 672
649 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 679
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