Plasma 를 공부하는 중에  bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.

3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.

형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.

단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에

chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.

이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?


이렇게 질문을 드리는 이유는

중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.

이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데

막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2706
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13921
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49851
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61794
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80486
540 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 620
539 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 620
538 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 624
537 문의 드립니다. [1] 633
» 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 635
535 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 639
534 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 644
533 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 644
532 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 650
531 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 657
530 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 659
529 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 660
528 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 662
527 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 669
526 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 670
525 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 671
524 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 672
523 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 673
522 wafer bias [1] 673
521 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 677

Boards


XE Login