Others 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다.
2017.03.29 15:16
안녕하세요?
호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.
스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.
"플라즈마 구 예시"(링크)
플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.
그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의 이 전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.
그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?
손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76692 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68680 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92218 |
666 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20575 |
665 | 확산펌프 | 20515 |
664 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20480 |
663 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20419 |
662 | Langmuir probe tip 재료 | 20406 |
661 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20377 |
660 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20310 |
659 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20258 |
658 | 형광등과 플라즈마 | 20245 |
657 | 플라즈마 matching | 20231 |
656 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20205 |
655 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20203 |
654 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 20036 |
653 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 20015 |
652 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20007 |
651 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19833 |
650 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19774 |
649 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19758 |
648 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19728 |
혼돈이 큽니다. 먼저 플라즈마의 생성 조건 (breakdown conditon)인 파센의 법칙(Paschen's law)를 공부해 보시기를 추천합니다.