DC glow discharge 플라즈마 살균 방식

2020.06.19 16:13

박희원 조회 수:11415

안녕하세요! 플라즈마 살균에 대해 이번에 대학에서 과제로 발표를 해야하는 학생입니다. 플라즈마에 대해 계속 찾아보고 있는데, 이해가 안가는 부분이 너무 많아서 이렇게 질문을 드리게 되었습니다. 제가 검색한 바로는 플라즈마 살균(공기청정기)는 고전압플라즈마와 광플라즈마 방식이 있는데, 고전압플라즈마보다 광플라즈마에 맞춰 연구가 많이 되고 있다고 하고, 광플라즈마 특성은 저온에 대기압이고 화학적처리 방식, 오존처리방식, 물리적 처리방식 등이 있다. 

오존처리 방식이 자외선(UVU)를 사용하는 거라는데 맞나요??? 그리고 플라즈마 살균기 동작원리가 궁금합니다. 그냥 외부에 있는 공기를 빨아드려서 내부에서 수산화이온과 산소이온 등으로 분해한후 방출시켜 이온들이 외부에 있는 미세먼지와 바이러스를 제거하는 건가요? 또한 자외선은 어디에 쓰이는 건가요? 이온을 나눌때 사용이 되나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
643 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3362
642 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4739
641 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1893
640 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1088
639 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1249
638 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3949
637 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1630
636 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1320
635 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1141
634 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1564
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 705
632 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2278
631 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1485
630 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 445
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1267
628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1949
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8660
626 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3498
625 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14684
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1307

Boards


XE Login