안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82849
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21998
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58780
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70417
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96397
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 953
683 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1195
682 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 785
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 761
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2228
679 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 633
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 642
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 780
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 746
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1411
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1499
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1245
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 893
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1189
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 635
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1627
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1595
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 552
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 899
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1050

Boards


XE Login