Others Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정

2017.12.28 13:11

플라즈마엣칭 조회 수:341

V△p = -Sp△t ----(1) 이것을 초기조건 (시각0 의 기체 압력) p=p0 에서 풀면
p = p0exp(-st/V) ----(2) 를 얻는다

여기에서 1번식이 2번식으로 넘ㅇㅓ 가는 과정을 설명해 주시면 정말감사하겠습니다ㅠ

출처: https://m.blog.naver.com/kongtori/220800339950

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92261
648 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4141
647 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1116
646 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 972
645 plasma 형성 관계 [1] 1511
644 RF matcher와 particle 관계 [2] 2912
643 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3410
642 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4800
641 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2006
640 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1110
639 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1269
638 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3963
637 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1675
636 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1343
635 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1163
634 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1605
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 714
632 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2310
631 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1513
630 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 450
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1306
쓰기
태그

Boards

XE Login