안녕하세요

천안에 재직중인 김민우라고 합니다

현업에 사용하는 스퍼터 장비 RF generator관련 문의사항이 있어 질문드립니다

현상은

RF 플라즈마을 띄우면 정상으로 뜰때도 있고

매처로 튜닝도 되지 않는 엄청난 리플렉트가 발생할때도 있고

플라즈마가 아에 뜨지 않는 경우도 있습니다

변경사항으로는

RF generator가 죽어서 동일한 모델에다가 죽은 generator 내부컨트롤 보드만 스왑해서 

다시 장착해서 사용중입니다

궁금한점은

원인을 계속 찾고 있는 중에

저항 체크 시 챔버쉴드랑 rf 사이에는 무한대

동축케이블 심과 쉴드 사이는 무한대 가 다뜨는데

rf generator 출력단(동축케이블 꽂는곳) 저항 체크 시 심선 닿는곳과 바깥쪽 쉴드 사이에

저항이 0.3옴이 뜹니다? 이부분이 궁금해서요..

저항이 무한대로 나와야 되는건가요?



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5614
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16912
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51351
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64222
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84301
552 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2061
551 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 465
550 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1188
549 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 2107
548 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 699
547 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] 10224
546 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 1174
545 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 608
544 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 2230
543 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 329
542 Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate [1] 1427
541 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 831
540 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2301
539 플라즈마 살균 방식 [2] 10926
538 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 891
537 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 1275
536 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 296
535 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 768
534 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1851
533 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 5988

Boards


XE Login