Others Plasma arcing 관련하여 문의드립니다.

2021.02.09 16:16

디스플레이꿈나무 조회 수:1347

안녕하십니까, 교수님
저는 국내 디스플레이 장비 업체에서 근무 중인 직장인 김준현이라고 합니다.
항상 좋은 답변 해주셔서 업무 진행에 있어 많은 도움을 받고 있습니다.

 

최근 arcing 관련 내용을 공부 중에 있는데요, 궁금한 점이 생겨 이렇게 문의드리게 되었습니다.

 

질문들은 하기와 같습니다. 

 

1. arcing 발생 방지에 있어, ground가 중요한 이유가 무엇인가요...?

 

2. 벽표면 혹은 전극 표면 등에 쌓인 부도체 물질, particle 등이 acring 발생에 어떤 영향을 주는지 그 메카니즘에 관해 알고 싶습니다.    

 

3. 특정 조건에서 기판 지지체 하부에 잔류 플라즈마 발생을 확인할 수 있었는데요, 기판지지체 하부에는 RF Power가 직접적으로 가해지지 않는데 왜 플라즈마가 유지/생성될 수 있는지 궁금합니다. 

 

이상입니다.

 

감사합니다.
 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76677
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57151
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68672
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92184
647 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1114
646 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 970
645 plasma 형성 관계 [1] 1501
644 RF matcher와 particle 관계 [2] 2904
643 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3403
642 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4793
641 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 1967
640 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1106
639 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1263
638 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3963
637 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1670
636 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1342
635 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 1157
634 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1602
633 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 712
632 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2307
631 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1505
630 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 450
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1303
628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 1996
쓰기
태그

Boards

XE Login