kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76677 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20151 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57151 |
» | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68672 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92182 |
133 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2725 |
132 | 질문있습니다. [1] | 2566 |
131 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2430 |
130 | RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] | 2376 |
129 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2327 |
128 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2280 |
127 | 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] | 2234 |
126 | 플라즈마볼 제작시 [1] | 2232 |
125 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2182 |
124 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2171 |
123 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2117 |
122 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2116 |
121 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 2001 |
120 | CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] | 1974 |
119 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1964 |
118 | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1941 |
117 | 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] | 1897 |
116 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! | 1859 |
115 | 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] | 1828 |
114 | 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] | 1778 |