안녕하세요

천안에 재직중인 김민우라고 합니다

현업에 사용하는 스퍼터 장비 RF generator관련 문의사항이 있어 질문드립니다

현상은

RF 플라즈마을 띄우면 정상으로 뜰때도 있고

매처로 튜닝도 되지 않는 엄청난 리플렉트가 발생할때도 있고

플라즈마가 아에 뜨지 않는 경우도 있습니다

변경사항으로는

RF generator가 죽어서 동일한 모델에다가 죽은 generator 내부컨트롤 보드만 스왑해서 

다시 장착해서 사용중입니다

궁금한점은

원인을 계속 찾고 있는 중에

저항 체크 시 챔버쉴드랑 rf 사이에는 무한대

동축케이블 심과 쉴드 사이는 무한대 가 다뜨는데

rf generator 출력단(동축케이블 꽂는곳) 저항 체크 시 심선 닿는곳과 바깥쪽 쉴드 사이에

저항이 0.3옴이 뜹니다? 이부분이 궁금해서요..

저항이 무한대로 나와야 되는건가요?



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
623 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 999
622 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 850
621 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2250
620 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1518
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1327
618 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 702
617 anode sheath 질문드립니다. [1] 959
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 718
615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 698
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1445
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1949
612 라디컬의 재결합 방지 [1] 778
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1943
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1426
609 전자 온도 구하기 [1] file 1098
608 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 313
607 CVD 공정에서의 self bias [1] 3032
606 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3314
605 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1062
604 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1855

Boards


XE Login