Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.

2020.07.30 19:43

미누85 조회 수:889

안녕하세요

재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.

약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데

그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.

Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....

O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.

O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.

그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?

작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.


무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76728
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20190
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68700
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
629 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 1309
628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2011
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8720
626 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3533
625 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14785
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1332
623 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
622 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 862
621 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2270
620 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1370
618 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 705
617 anode sheath 질문드립니다. [1] 983
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 726
615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 707
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1459
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1987
612 라디컬의 재결합 방지 [1] 789
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2016
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1452
쓰기
태그

Boards

XE Login