안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] 76710
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20162
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57162
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92246
628 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2002
627 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8713
626 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3526
625 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 14777
624 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1328
623 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
622 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 862
621 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2268
620 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533
619 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 1361
618 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 703
617 anode sheath 질문드립니다. [1] 982
616 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 723
615 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 707
614 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1455
613 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1983
612 라디컬의 재결합 방지 [1] 788
611 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2009
610 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1446
609 전자 온도 구하기 [1] file 1127

Boards


XE Login