Others 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다.
2017.03.29 15:16
안녕하세요?
호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.
스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.
"플라즈마 구 예시"(링크)
플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.
그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의 이 전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.
그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?
손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] | 76710 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20162 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57162 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68684 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92246 |
628 | ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] | 2002 |
627 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8713 |
626 | CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] | 3526 |
625 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14777 |
624 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1328 |
623 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1011 |
622 | RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] | 862 |
621 | CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] | 2268 |
620 | 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] | 1533 |
619 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1361 |
618 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 703 |
617 | anode sheath 질문드립니다. [1] | 982 |
616 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 723 |
615 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 707 |
614 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1455 |
613 | CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] | 1983 |
612 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 788 |
611 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 2009 |
610 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1446 |
609 | 전자 온도 구하기 [1] | 1127 |
혼돈이 큽니다. 먼저 플라즈마의 생성 조건 (breakdown conditon)인 파센의 법칙(Paschen's law)를 공부해 보시기를 추천합니다.