Others 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
2019.01.24 13:33
안녕하십니까.
산소양이온이 금속전극을 충돌하면, 산소양이온은 무엇으로 변하는지 궁금합니다.
1) 금속표면바로아래의 전자가 터널링에 의하여 나와서 산소양이온과 결합 하여 산소분자로 환원이 되는지?
- 산소분자로 환원이 된다면, metastable 상태를 거쳐서 산소분자가 되는지..
2) 전자과 결합하는 과정에서 산소원자들이 생성이 되는지?
자료를 찾을 수가 없어서 문의드립니다.
오늘도 좋은 하루 되세요. 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76725 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20172 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57165 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68696 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92273 |
628 | ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] | 2008 |
627 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8716 |
626 | CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] | 3531 |
625 | ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] | 14783 |
624 | CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] | 1330 |
623 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1011 |
622 | RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] | 862 |
621 | CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] | 2269 |
620 | 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] | 1533 |
619 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1365 |
618 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 703 |
617 | anode sheath 질문드립니다. [1] | 983 |
616 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 724 |
615 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 707 |
614 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1456 |
613 | CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] | 1984 |
612 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 789 |
611 | LF Power에의한 Ion Bombardment [2] | 2013 |
610 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1450 |
609 | 전자 온도 구하기 [1] | 1129 |
좋은 질문입니다. 전북대학교 화공과에 임연호 교수님께 문의드려 보시면, 아마도 해석적인 설명과 자료를 구하실 수 있을 것입니다.
아울러 플라즈마 내의 반응을 고려한 표면 반응에 대해서 설명하는 자료로서, "Principles of Plasma Discharges and Materials Processing" 2nd by M.A. Lieberman and A.J. Lichtenberg (Wiley 2005) Chapter 9가 좋은 자료가 될 것 같습니다.