Others DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단

2017.02.20 19:49

조재규 조회 수:1020

안녕하세요


연세대학교 대학원 석사과정 조재규 입니다.


현재 DC Magnetron Sputtering시 Target Erosion Reduction에 관해서 연구하고있습니다.

Plasma 진단과 관련하여 어려움을 겪고 있어 질문 드립니다.

DC Magnetron Sputtering 사용시 플라즈마 분포가 비균일하게 형성되기 때문에 Target Erosion이 발생합니다

따라서 이를 분석하기위해 Plasma 형상을 정량화 하려는 방법을 구상하고 있고

가장 먼저 떠오른 방법은 Langmuir Probe였습니다.

하지만 Langmuir Probe는 워낙 국소부분 진단 방법이고 측정 위치를 다양하게 하기위해선 Sputter 장비에 설치 가능여부가 의문입니다.


이러한경우 어떠한 Plasma 진단법이 적합할지 여쭈어봅니다.

그리고 Langmuir Probe를 그대로 사용할 시 Tip이 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76647
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20145
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57146
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68668
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92120
627 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 753
626 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 758
625 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 760
624 Collisional mean free path 문의... [1] 780
623 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 780
622 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 784
621 라디컬의 재결합 방지 [1] 786
620 Self bias 내용 질문입니다. [1] 791
619 플라즈마 충격파 질문 [1] 792
618 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 797
617 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 797
616 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 803
615 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 804
614 RF 파워서플라이 매칭 문제 808
613 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 811
612 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 822
611 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 826
610 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 839
609 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 840
608 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 841
쓰기
태그

Boards

XE Login