질문 ::

비등온플라즈마는 전자의 온도만이 다르다는 것을 알고 있는데, 더 자세하게 두가지를 어떻게 구분할 수 있을까요? 둘의 차이점과 그 종류와 특징에 대해서 알고 싶습니다.

답변 ::

일반적으로 산업용으로 사용되고 있는 플라즈마의 특징은 전자의 온도가 이온의 온도에 비해서 매우 높다는 것입니다.
하지만 plasma torch와 같은 대기압 플라즈마에서는 이온의 온도와 전자의 온도가 유사하게 되는 경향을 보이기도
합니다. 이 둘의 차이는 충돌성이 얼마나 큰가에 따르게 됩니다. 자연 충돌성이 약한 낮은 압력에서 형성된 플라즈마에서는
전자의 질량이 이온의 질량보다 매우 작아 쉽게 전기장으로 부터 에너지를 얻을 수 있어 전자의 온도는 이온과 중성 입자의
온도에 비하여 매우 높습니다. (여기서 이온의 온도는 대략 중성 입자의 온도와 유사하다고 생각할 수 있습니다. ) 하지만
운전 압력의 증가에 따라서 중성 개스와 전자/이온의 충돌은 매우 빈번해지면서 전자의 온도는 상대적으로 낮아지고 이온과
중성개스의 온도는 올라가게 됩니다. 이런 경우에는 전체 입자의 온도가 거의 유사한 크기를 갖게 될 수 있습니다.
여기서 입자의 온도를 직접 측정하기는 쉽지 않습니다. 특히 이온의 온도는 측정이 어려워 많은 노력이 필요합니다. 통상적으로
우리가 측정하기 쉬운 대상은 전자이며 전자의 온도를 이용하여 종종 플라즈마의 특성을 관찰하곤 합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76690
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92218
627 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 754
626 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 760
625 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 770
624 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 780
623 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 784
622 Collisional mean free path 문의... [1] 785
621 라디컬의 재결합 방지 [1] 788
620 플라즈마 충격파 질문 [1] 792
619 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 798
618 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 799
617 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 804
616 Self bias 내용 질문입니다. [1] 804
615 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 806
614 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 811
613 RF 파워서플라이 매칭 문제 812
612 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 823
611 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 826
610 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 839
609 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 841
608 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 842

Boards


XE Login