Monitoring Method 플라즈마진단법엔 어떤것이?
2004.06.21 15:43
질문 ::
플라즈마진단법에는 어떤것들이 있나요?
제가 아는건 정전탐침법밖에 없는데.....
정전탐침법뿐아니라 다른 방법들을 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.
답변 ::
플라즈마 진단의 종류는 대단히 많이 있습니다.
크게 두가지로 나눈다면 직접 플라즈마와 닿아 얻어지는 자료를 통하여 특성을 분석하는 방법과
플라즈마와 닿지 않으며 얻어지는 자료를 통하여 플라즈마 특성을 분석하는 방법이 있습니다.
전자의 방법으로는 정전 탐침법으로 대표되며 후자의 경우는 광학적인 방법 혹은 마이크로 파등을
이용하는 방법 및 빔을 이용하여 플라즈마와 충돌하면서 나오는 빛을 분석하는 (광학적인 방법의
일환)등이 있습니다. 이에 관해서 설명하기에는 본란으로는 부족할 것 입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76542 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20078 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57116 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91697 |
623 | Collisional mean free path 문의... [1] | 776 |
622 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 776 |
621 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 779 |
620 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 782 |
619 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 785 |
618 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 789 |
617 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 791 |
616 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 792 |
615 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 792 |
614 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 799 |
613 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 809 |
612 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 818 |
611 | ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] | 825 |
610 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 832 |
609 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 832 |
608 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 835 |
607 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 835 |
606 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 840 |
605 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 842 |
604 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 847 |