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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64212
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82 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1222
81 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1219
80 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1200
79 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1190
78 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1188
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68 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 878
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