현재 반도체 장비 업체에 근무하고 있는 엔지니어입니다.

신입사원 발표 과제로 스퍼터링시 기판 온도 계산하는 과정을 직접 변수를 설정하고 구해보라고 주제를 받았습니다.

대충 타겟 온도를 200도, 냉각 장치를 20도라고 가정하고 타겟은 알루미늄 기판은 유리로 가정해봤는데

여러 열역학 이론을 공부해봤지만 아무래도 기판 온도를 계산하는 법 방향성을 못잡겠습니다..

조언주시면 감사합니다!!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [299] 77536
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20613
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57552
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69052
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93214
814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 10
813 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [1] 16
812 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 47
811 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] 50
810 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [1] 53
809 micro arc에 대해 질문드립니다. [1] 64
808 Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] 69
807 Druyvesteyn Distribution 71
806 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 73
805 플라즈마 식각 커스핑 식각량 74
» 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 80
803 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 86
802 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 95
801 플라즈마 사이즈 측정 방법 [1] 95
800 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 99
799 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 100
798 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 107
797 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 109
796 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [1] 109
795 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] 111

Boards


XE Login