번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220] 75421
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19154
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56478
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67552
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 89353
728 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 147
727 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 153
726 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 155
725 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 161
724 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 161
723 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 190
722 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 192
721 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 204
720 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 209
719 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 213
718 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 214
717 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 224
716 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 225
715 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 230
714 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다. [1] 248
713 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 250
712 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 258
711 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 262
710 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 266
709 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 285

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