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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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[재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술]
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N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마]
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PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어]
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Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전]
[1] | 764 |
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Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭]
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접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경]
[1] | 775 |
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코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발]
[1] | 777 |
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ICP 후 변색 질문
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Plasma 표면 개질에 대해 질문드립니다. [O2 플라즈마와 Ar 플라즈마]
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PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]
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플라즈마 진단 공부중 질문 [Balance equation]
[1] | 792 |
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CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료]
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RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제]
[1] | 798 |
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ICP 대기압 플라즈마 분석 [Collisional plasma, LTE 모델]
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remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화]
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O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다.
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플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해]
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기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
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plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학]
[1] | 817 |
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Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지]
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