ICP ICP 플라즈마에 관해서

2004.06.19 15:58

관리자 조회 수:30111 추천:276

안녕하세요.

늘 이곳에 와서 질문-응답의 열띤 글들과 학회 방문기를 잘 읽었는데 모두 없어졌다니 너무 가슴이 아프네요.
예전에 있었던 내용인 것 같은데 최근 실험을 하다가 부딪히게 되어 질문을 드립니다. 그때 미리 보았으면 좋았을 텐데.

ICP 플라즈마를 발생시킴에 있어서 CCP mode 와 ICP mode 의 차이가 어떻게 다른 것인지요? CCP mode를 마치 흔히 사용하듯이 기판(평판 기판)에 바이어스를 걸어줄때 발생하는 플라즈마처럼 생각하면 되는지요?
그리고 또하나 Matching box 에서 capacitance 를 접지시킬때와 그렇지 않은 경우 어떻게 차이가 나는지요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1192
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 931
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49374
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59475
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 74168
637 RF 전압과 압력의 영향? new 3
636 Plasma Cleaning 관련 문의 49
635 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 75
634 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 83
633 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 85
632 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 91
631 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 107
630 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 109
629 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 110
628 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 122
627 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 137
626 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 161
625 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 166
624 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 168
623 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 170
622 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 176
621 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 178
620 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 180
619 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 182
618 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 184

Boards


XE Login