Process 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다
2020.09.05 00:10
안녕하세요
저는 직장인입니다
회사에서 OLED쪽 CVD 장비유지보수 업무를 하고있습니다
그동안 플라즈마 연구실에서 궁금한거 눈팅만 하다가 이번에는 없어서 직접 질문드립니다
보안에 위배될까봐 자세히는 적지 못 합니다 이해 부탁드립니다.
증착 중 부속 장비의 알람 발생으로 증착 중 RF Power 및 가스 Flow가 중단되어 증착이 중단됩니다
Alarm 발생 Glass를 살리기 위해 Glass 제전(전극과 Glass 간격을 벌려줌) 후 추가증착을 진행(추가증착시 전극에 Glass 안착 후)하는데
이 추가증착 진행 Glass에서 흰얼룩(뿌연얼룩/방사형얼룩)이 발생됩니다
이것을 해결 하기 위한 방법이 있을까요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76540 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91696 |
783 | ICP에서의 Self bias 효과 [1] | 21 |
782 | CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] | 34 |
781 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 36 |
780 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 39 |
779 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 50 |
778 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 56 |
777 | Microwave & RF Plasma [1] | 67 |
776 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 70 |
775 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 75 |
774 | sputtering 을 이용한 film depostion [1] | 83 |
773 | 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] | 93 |
772 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 104 |
771 | ICP에서 전자의 가속 [1] | 106 |
770 | 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] | 118 |
769 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 121 |
768 | DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] | 129 |
767 | CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] | 130 |
766 | Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] | 138 |
765 | LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] | 141 |
764 | FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 | 155 |
제 생각에는 얼룩은 플라즈마- 유발 공정입자의 확산이 시표 표면으로 너무 급하게 일어난다는 의미로 이해됩니다. 따라서 공간에 플라즈마 및 라디컬의 확산 시간을 유지하게 하고 표면에 반응 할 시간을 유지해 주는 방법을 찾아 보았으면 합니다. 특히 PECVD에서 압력이 높아서 균일하게 분포하는 시간이 걸릴 것으로 판단되는바, 이를 제어하려면 플라즈마 개시 조건에서 사용하는 전력 및 압력을 낮은 단계에서 순차적으로 증가시키는 조절 운전 방법을 생각해 볼 수 있겠습니다. 이는 최적화 조건을 PI 모니터링 하고 있으면 보다 능동적 제어가 가능할 것이나, 경험상으로도 어렵지 않게 조건을 찾을 수가 있을 것 같습니다. (확산과 반응시간 교합)
혹시 현장에서는 이와 관련된 시료 평가 자료가 확보되었을 수도 있겠으니, 압력/전력 조건 별로 얼룩이 크기를 면밀히 검토해 보시면서 공정 리시피를 개발해 보셔도 좋을 것 같습니다. 공정진단팀과 협업을 하실 수 있으면 훨씬 도움이 될 것 같군요.
제 이해 범위 내에서 말씀드렸습니다. 현업의 문제는 훨씬 더 복잡해서 이상과 같은 단편적인 의견을 그저 방향을 잡는데 쓰일 수 있다면 감사하겠습니다. 나중에 결과가 있으면 조용히 알려 주십시오.