CVD 설비에서 GENERATOR에서 온 AC POWER는 MATCHER를 거쳐 S/H로 공급되는데요

 

MATCHER ~ S/H간 연결 방식이 장비 MAKER마다 다른데 특별한 이유가 있나요?

 

어느 설비는 단단하게 고정된 CU, AG 재질을 쓰는 곳이 있고, 어느 설비는 얇은 끈, 전선같은 방식을 채택하기도 하던데

 

RF 전송 PATH의 굵기, 곡률(직각, 직선, 곡률이 있는경우), 재질과 같은 H/W적 요소가 IMPEDANCE MATHCING에 어떤 영향을 미치나요?

 

어떤 내용이나 자료를 공부하면 알 수 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3649
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15344
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62996
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82140
669 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 20
668 플라즈마 관련 교육 [1] 29
667 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 37
666 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 44
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 91
664 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 118
663 RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] 131
662 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 142
661 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 142
660 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 160
659 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 186
658 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 186
657 doping type에 따른 ER 차이 [1] 229
656 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 249
655 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 253
654 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 254
653 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 265
652 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 267
651 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 267
650 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 274

Boards


XE Login