ICP ICP 대기압 플라즈마 분석

2021.11.11 14:47

플라즈마스터 조회 수:342

안녕하세요. 교수님,

 

 

합성을 목적으로 두고 있는 5kW, 13.56MHz RF generator, ICP coil 을 이용해 대기압 플라즈마를 생성할 때 플라즈마 특성을 분석을 하고 싶은데,  일반적으로 많이 사용하는 RGA는 진공 환경에서 작동되는 것으로 알고있습니다. 관련 내용을 홈페이지에서 검색해 보니 2004년도에 교수님께서는 탐침과 OES 등을 이용해 분석하셨다고 쓰여있는데,

 

1. 혹시 그 동안 분석 방법에 대해서 발전된 것이 있는지,

2. 여전히 같은 방법으로 사용하고 계시다면 탐침과 OES로 어떤 것을 사용하였는지 

 

제가 고체 물리 전공이지만 시료 합성을 위해 PECVD 관련 내용을 공부한지 얼마 안돼 관련 전공 지식이 많이 부족한 상태입니다. 추가적으로 해당 모델에 대해서 제가 공부하기 좋은 내용을 추천해 주시면 감사하겠습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3649
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15344
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62996
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82140
669 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 20
668 플라즈마 관련 교육 [1] 30
667 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 37
666 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 44
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 91
664 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 118
663 RF 파워서플라이 매칭 문제 [1] 131
662 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 142
661 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 142
660 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 160
659 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 186
658 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 186
657 doping type에 따른 ER 차이 [1] 229
656 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 249
655 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 253
654 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 254
653 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 265
652 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 267
651 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 267
650 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 274

Boards


XE Login