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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69033
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814 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. new 8
813 ExB drift 식 유도 과정에서의 질문 [1] 12
812 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 47
811 Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] 50
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804 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 80
803 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 86
802 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 95
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800 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 98
799 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 100
798 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 106
797 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [1] 106
796 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 109
795 Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] 110

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