ESC 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath]

2024.07.24 12:07

세라믹스HT 조회 수:3896

 

안녕하세요. 세라믹 ESC 엔지니어 입니다.

 

상황: RF전극삽입 세라믹평면(+)과 금속평면(-)의 ESC force 향상이 주요 목적입니다.

500도 이상의 고온 환경입니다.

 

질문 1: 인가전압을 증가하여 ECS의 증가하려고 했는데. 아래 같이 1000V 이상에서 추가적인 향상이 미미합니다.

계산상 인가전압의 제곱으로 상승해야하나, 그렇지 못한 상황인데, 이럴 경우 가장 의심되는 상황이 있을까요?

 

- 표면에서 방전 (외관상 아킹의 흔적은 없습니다.)

- 터널링 전자의 이동의 급격한 증가

- 표면타고 전하 누설

- 기타

 

 

인가전압 500V 1000V 1500V
계산값 (J-R + classic) 2.7 10.9 24.5
측정값 3.3 8.5 9.0

 

 

질문 2: 세라믹 표면에 C라던지 상대면의 금속이라던 소량 발견되는데 이러한 metallic한 물질이 ECS의 저하의 원인이 될까요?

 

- 표면 방전에 영향을 준다. 등등.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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