안녕하세요. 일반 회시에 다니는 회사원입니다.

다름이 아니고 마이크로웨이브파를 이용 플라즈마 발생장치에 관심이 있어 질문 드립니다.

만약 마그네트론 + 리액터 + 웨이브가이드  3개로 구성된 장치가 있는데 만약 여기에 사용되는 전력이 플라즈마를 발생시키기 위해서 마그네트론

과 리액터내 플라즈마를 발생시키기 위한 전력만 소모되는지요? 마그네트론은 1kw짜리 이고 리액터에 사용되는 플라즈마 발생장치는 저온 플라즈마(500~600도) 입니다.

개발업체에서는 플라즈마를 발생시키기 위해서 사용전력이 많이 들어간다고 하는데 얼마정도 인지 확인이 안되고 있습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2317
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12799
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49615
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61099
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 79282
479 Group Delay 문의드립니다. [1] 845
478 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 859
477 플라즈마 코팅 [1] 865
476 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 867
475 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 872
474 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 874
473 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 883
472 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 884
471 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 896
470 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 897
469 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 905
» micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 908
467 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 911
466 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 928
465 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 929
464 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 935
463 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 942
462 자기 거울에 관하여 952
461 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 961
460 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 964

Boards


XE Login