Others SCCM 단위에 대하여 궁금합니다.
2004.06.25 13:02
===============================<질문>=======================================
안녕하십니까??
궁금한게 있어여...
플라즈마 장비를 공부하다가 이상한 단위를 만나서요...
좀 알려 주세요.. sccm 이라는 건데요...
무슨 가스량을 나타내는 단위이긴 한거 같은데.. 정확한 내용을 몰라서요..
어떤 뜻인지..알고 계시면 좀 알려주세요.. 부탁 드립니다.. 좋은 하루 되세요...
==============================<답변>========================================
SCCM 은 flow rate를 의미합니다. 즉 torr-liter/sec (t-l/s)와 같이 쓰입니다.
sccm은 standard cc per minute로 (0C, 1atm 상태에서의 값입니다.)
1sccm= 6.02e23/22400cm^3 molecules / min 즉 분당에 2.7e19개의 분자입자들이 흘러들어가는 정도의 기체유량을 의미합니다.
참고로 1 t-l/sec와는 79.05sccm인 관계가 있으며 1 t-l/sec= 2.13e21 molecules/min의 관계입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
142 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19681 |
141 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19710 |
140 | 대기압 상태의 플라즈마 측정 | 19721 |
139 | PM을 한번 하시죠 | 19724 |
138 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19751 |
137 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19768 |
136 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19830 |
135 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 19998 |
134 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 19999 |
133 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20003 |
132 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20194 |
131 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20202 |
130 | 플라즈마 matching | 20218 |
129 | 형광등과 플라즈마 | 20239 |
128 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20257 |
127 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20308 |
126 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20357 |
125 | Langmuir probe tip 재료 | 20400 |
124 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20411 |