Plasma in general 전자 온도 구하기

2021.06.16 14:00

피했습니다 조회 수:1099

안녕하세요 교수님 언제나 좋은 정보 감사합니다.

 

저는 건식 세정 장비 회사에 다니는 엔지니어 입니다.

 

책을 통해서 공부를 하고 있는 중 플라즈마 전압과 플로팅 전압 차를 이용해 이온이 기판에 충돌하는 에너지를 구하는 식을 배웠습니다.

(식은 혹시 몰라 첨부파일에 사진으로 올렸습니다.)

 

그래서 저희 장비 기준으로 충돌 에너지를 구해 보고자 했는데, 문제는 Te 항인 전자의 온도를 어떻게 구해야하는지 모르겠어서 이렇게 문의 드립니다.

 

플라즈마 전자의 온도를 어떻게 구할 수 있나요?

 

그리고 분모에 있는 e = 1.6 * 10^-19 C 이 맞는지요 ? 

 

감사합니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20077
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91696
723 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 391
722 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 395
721 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 399
720 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 405
719 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] 420
718 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 421
717 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 423
716 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 425
715 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 426
714 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 429
713 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 437
712 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 438
711 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 441
710 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 442
709 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 443
708 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 445
707 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 450
706 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 454
705 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 456
704 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 461

Boards


XE Login