안녕하세요 지난 번 질문 드렸던 디스플레이 관련 대학원생입니다.

현재는 RF sputter의 MFC 및 power 등은 정상 작동하며 Ar 플라즈마까지 보라빛을 잘 띄고 있습니다.

문제는 플라즈마는 뜨는데 증착이 전혀 진행이 되지 않습니다.

Al을 타겟으로 사용하고 있는데 타겟의 문제가 있는가 싶어 새 것으로 교체해 보았지만 프리 스퍼터링 30분 스퍼터링 30분을 진행해도 플라즈마에 의해 타겟이 깎인 부분도 전혀 없이 원래 상태 그대로이며 그에 따라 시편에도 Al이 증착되지 않고 깨끗한 상태입니다.

조건이 잘못된 것인지 플라즈마는 뜨는데 왜 증착은 되지 않는지 고민이 되어 자문을 구해봅니다.

현재 스퍼터 및 플라즈마 상태는 첨부한 이미지와 같습니다.

두 번째 이미지는 anode shield를 분리 후 찍은 것입니다.

감사합니다.