대학교 종합설계 프로젝트 과제를 위해 NF3/NH3 플라즈마 가스를 이용한 dry cleaning 실험을 진행해야하는데, 

관련해서 플라즈마응용연구실에서 외부 학생들이 직접 실험 or 실험 참관이 가능한지 여쭤보고 싶어서 문의 남깁니다. 


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76725
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20172
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57165
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92273
688 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 544
687 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
686 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 547
685 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 547
684 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 550
683 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
682 Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] 559
681 핵융합 질문 [1] 567
680 활성이온 측정 방법 [1] 572
679 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 575
678 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
677 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 579
676 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
675 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 586
674 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
673 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
672 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 592
671 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 593
670 RF Sputtering Target Issue [2] file 595
669 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596

Boards


XE Login