안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] 75019
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18860
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56340
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66843
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88303
599 anode sheath 질문드립니다. [1] 696
598 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 696
597 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 701
596 Collisional mean free path 문의... [1] 701
595 ICP lower power 와 RF bias [1] 704
594 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 712
593 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 713
592 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 718
591 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 719
590 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 722
589 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 736
588 플라즈마 충격파 질문 [1] 739
587 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 742
586 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 755
585 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 764
584 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 765
583 문의 드립니다. [1] 776
582 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 783
581 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 789
580 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 792

Boards


XE Login