Plasma in general RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
2018.12.30 00:14
안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.
RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] | 2564 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 13558 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 49691 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 61635 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 80262 |
540 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 609 |
539 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 615 |
538 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 619 |
537 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
![]() | 625 |
536 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 628 |
535 | 문의 드립니다. [1] | 631 |
534 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] | 638 |
533 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 639 |
532 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 641 |
» | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 642 |
530 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 650 |
529 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 654 |
528 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 657 |
527 | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 663 |
526 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 664 |
525 | CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] | 664 |
524 | wafer bias [1] | 666 |
523 | 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] | 666 |
522 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 667 |
521 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 667 |
글쎄요, matcher를 책자로 정리한 경우는 회사 사내 교재 밖에 본 적이 없습니다.
다만 우리가 고려하는 matcher의 load인 플라즈마 imdedance를 고려한 matching 설계에 관한 내용은 공정플라즈마 공학 관련 책에서 찾으실 수 있습니다. CCP 및 ICP 경우가 다르며 이에 대해서 잘 설명이 되어 있는 참고서적은 "Principles of plasma discharges and materials processing' 2nd ed. 'M.A. Liebermann and A.J.Lichtenberg (Wiley) 혹은 Inductrilal plasma engineering, JR Roth (IOP)를 추천합니다.
아울러 본 게시판에서 논의된 matcher QA 내용이 도움이 될 수도 있겠습니다. 게시판 내용을 확인해 보세요.