Etch O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의

2020.10.28 15:20

nons 조회 수:635

안녕하십니까

반도체 소재 회사에 다니고 있는 노은수 입니다.

궁금한게 있어서 문의 드립니다.

 

O2 etch 후 gas의 접촉면과 닿은 polymer에서 아래의 그림과 같이 손톱모양으로 변성(?)이 되는 현상이 있는데 왜 이러한 현상이 발생 하는지 알고 싶습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2676
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13889
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49817
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61760
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80443
540 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 620
539 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 620
538 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 624
537 문의 드립니다. [1] 633
536 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 635
» O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 635
534 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 644
533 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 644
532 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 649
531 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. [1] 657
530 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 659
529 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 660
528 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 662
527 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 668
526 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 669
525 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 671
524 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 672
523 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 673
522 wafer bias [1] 673
521 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 677

Boards


XE Login