Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다.

2022.04.19 11:40

맨시티챔스우승 조회 수:1008

안녕하세요

측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.

 

ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.

Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.

 

안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...

이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?

 

혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.

바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.

 

, , 이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20172
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57166
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68696
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92275
649 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 680
648 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 687
647 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 694
646 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 695
645 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 699
644 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 700
643 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 703
642 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 707
641 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
640 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 709
639 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 714
638 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 714
637 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 724
636 ICP 후 변색 질문 725
635 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 736
634 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 736
633 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 737
632 교수님 질문이 있습니다. [1] 744
631 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 749
630 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 754
쓰기
태그

Boards

XE Login