안녕하세요

혼자 해결하려고 몇달을 고민하고 도전하다가, 비전공자의 한계를 극복하지 못하고 글 남깁니다..


고전압 진공관 관련해서 실험을 하고 있는 직장인입니다.


고전압 진공관을 작동할 때에, 진공관은 대기중(질소로 퍼징하지 않고)에서 펌프로 대략 10e-5 이상으로 진공을 유지하고 있습니다.

제가 알고 있는 지식선에서는 진공관에서 고전압을 인가 할 경우에는 어떠한 현상도 발생하지 않아야 합니다.


그런데, 고전압을 인가해주면 글로우 방전과 비슷하게 보라색과 분홍색이 섞인듯한 빛을 띄는 에너지 파?(글로 방전 예상)가 이동하는 것을 확인하였습니다. 그 이후 조금 더 높은 전압을 인가했을 때에는 에너지 파?가 아닌 단순히 형광등 처럼 빛(플라즈마 예상)이 나기만 했습니다.

이럴 경우에 진공이 안좋아서 전리 여기현상으로 글로방전 또는 플라즈마가 발생하는 것으로 예상됩니다.


하지만, 진공의 문제가 아니라 다른 문제가 있다고 판단하여 좀더 높은 전압을 인가하였을 때, 아크가 발생하면 빛이 사라지는 경우를 확인했습니다. 

이런 경우가 될 경우에는 빛이 발생하는 현상은 진공과 관계가 없다고 판단되고, 진공관 내 어떠한 표면이 불안정하여 플라즈마 현상의 원인이 되는 것으로 판단됩니다.. 


그러나, 그 진공관에서 전극 사이에 가장 가까운 거리를 가지는 것은 절연체 밖에 없습니다..

 

여기서 질문을 드리고자 하는 것은 아래와 같습니다.


1. 진공관에서 글로방전 또는 플라즈마가 발생하는 것을 진공만의 문제일 수 있을까요?

2. 진공관의 절연부분이 글로방전 또는 플라즈마 발생의 원인이 될 수 있을까요?

3. 진공관 내 이물질 흡착으로 인하여 고전압 인가 시에 글로방전 또는 플라즈마 발생하는 것의 원인이 될 수 있을까요?

4. 진공관 내 절연거리가 부족하여 글로방전 또는 플라즈마 발생의 원인이 될 수 있을까요?


제가 더 필요하게 알아봐야 할 부분이 있는 것으로 보이시면 논문이나 서적 추천 부탁드립니다..


글 읽어주셔서 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
623 Collisional mean free path 문의... [1] 775
622 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 776
621 라디컬의 재결합 방지 [1] 778
620 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 782
619 플라즈마 충격파 질문 [1] 785
618 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 787
617 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 790
616 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 792
615 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 792
614 RF 파워서플라이 매칭 문제 799
613 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 809
612 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 818
611 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 825
610 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 831
609 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 832
608 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 835
607 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 835
606 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 840
605 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 842
604 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 847

Boards


XE Login