안녕하세요. 반도체 업에 종사하고 있는 엔지니어 입니다.
제목과 같이 질문을 먼저드리자면
산업에서 사용하는 Plasma를 위주로 다루는 책이나 과목이 있을까요?
업무적으로나 개인적으로 궁금한 것이 생기면 여기에서 찾아보곤 하는데요.
질문을 하고 답변을 받으면 해결보다는 공부해야 하는 것들이 더 많아졌습니다.
결과적으로 제가 얻어갈 수 있는 것은 정성적인 설명밖에 없더라구요.
제 나름대로는 계산도 해보고 인터넷에서 검색하여 정량적인 결과를 얻어보려고 했지만
Bohm velocity, child langmuir sheath 공식 등등
식의 이름도 생소하지만 각 항의 의미라던지 공식의 유도과정등을 인터넷에서 찾아보기에는
각 자료마다 설명하는 방법도 다르고 Plasma 하면 핵융합이나 우주에 있는 Plasma를 연구하기 위한 자료들이 많아
공부하기에 어려움이 있더라구요.
꼭 플라즈마 관련된 과목이 아니더라도 이해하는데 도움이 될만한 선수과목까지 알려주시면 감사하겠습니다!
개론적으로 이야기 드리면, 표면 처리 용의 플라즈마 공부를 하려면, 아주 초기의 자료, Glow discharge processes (Chapman) 의 교재를 추천합니다. 국문으로 나온 여러 교재들, 공정 플라즈마 기초, 플라즈마 식각기술, 플라즈마 일렉트로닉스, 등의 책을 보시면 좋을 것 같습니다. 유도 경로 등의 자료는 Principles of Plasma Discahrtges and Materials Processing (Wiely, Lieberman) 을 추천합니다.
아울러 일반물리에서 전자기학 개념, 열통계 개념과 원자 개념을 잘 갖고 있어야, 플라즈마 공부가 수월할 것입니다. 그리고 게시판 내용을 새겨 보시면 플라즈마 이해에 도움이 될 것입니다. 분명한 것은 투자한 만큼 플라즈마는 잘 보입니다.