안녕하세요. 반도체 관련 엔지니어로 근무하고 있는 직장인입니다.

 

현재 공정이 완료된 텅스텐 재료에 대기압 플라즈마를 가하여 정전기 제거를 하고있습니다.

 

Ar gas를 이용하였으며 정전기 측정장비로 제거 되는 것 까지는 확인 되었습니다.

 

추가로 여쭤보고 싶은 부분이 정전기 제거 후에도 반영구적으로 정전기가 발생하지 않는 것도 확인이 되는데요.

 

이 부분에 대해서는 관련 자료를 찾아보아도 나오는 부분이 거의 없어서요.

 

O, N 라디칼들이 계면에서 어떠한 에너지 반응을 일으키는 건지. 텅스텐 표면에 어떤 결합에너지에 영향을 주는 것인지 궁금하네요.

 

플라즈마를 통하여 정전기 방지가 유지되는 것이 어떠한 Process로 진행될 수 있는지 궁금합니다.

 

고견 여쭙겠습니다. 감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
272 Microwave & RF Plasma [1] 64
271 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 74
270 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 100
269 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 118
268 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 129
267 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 141
266 corona model에 대한 질문입니다. [1] 168
265 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 169
264 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 181
263 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 199
262 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 223
261 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 231
260 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 297
259 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 297
258 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 298
257 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 303
256 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 313
255 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 331
254 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 340
253 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 356

Boards


XE Login