Ion/Electron Temperature ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다.
2017.07.07 15:24
안녕하세요 저는 유니스트에 재학중인 대학원생 홍석모입니다.
제가지금 ICP CVD장비를 사용하고 있는데 플라즈마에 대한 배경지식이 없어서 혹시나 도움이 될까 글을 남겨 봅니다.
지금 저희가 쓰고 있는 장비의 스펙에 대해서 간단히 설명드리면
cylinder type
출력 주파수 13.56MHz
주파수 안정도 ±0.005%
RF 출력 임피던스 50 ohm nominal
AC 입력Power Line 208/220/230 Vac/단상 50-60Hz
정격RF Power Output YSR-06MF: 600W @ 50 ohm.
RF Output Connector N Type
DIMENSION 482W * 458D * 178H / 36Kg
그리고 작동 압력은 0.1 torr에서 0.01torr사이에서 작동 하고 있습니다.
제가 궁금한것은 power와 ionenergy사이의 관계를 알고 싶고, 시뮬레이션이 가능하다면 어떤 프로그램으로 할수 있는지 알려주시면 정말 감사하겠습니다.
감사합니다.
홍석모.
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