Sheath Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다.
2012.10.16 12:52
반도체업종에서 종사하고있고 얕으나 RF를 이용한 Plasma에 대해 공부를 하는 사람입니다.
질문은 플라즈마 반응용기내에서 발생되는 플라즈마는 빛을 발생시키는데 쉬스영역은 하전입자 밀도가 낮기 때문에
발광현상이 없다고 알고있습니다. 또 쉬스는 부도체, Floating된 물체 표면에 플라즈마를 감싸는 형태로 존재한다고
알고있습니다. 그렇다면 플라즈마 반응용기는 Bulk 플라즈마를 제외하고 모든 영역이 쉬스로 감싸져있다고
생각하면 틀린건가요?
또 만약 쉬스가 반응용기내에서 Bulk 플라즈마를 감싸고 있는 형태라면 반응용기를 관찰하기 위한 Glass view port또한
감싸져 있을텐데 view port에서는 Bulk 플라즈마에서 발생되는 빛이 보입니다. 이건 어떻게 이해해야 될까요?
이해하기 쉽게 설명좀 부탁드립니다. 감사합니다.^^
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76540 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
152 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2089 |
151 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2092 |
150 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2116 |
149 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2162 |
148 | 플라즈마볼 제작시 [1] | 2214 |
147 | 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] | 2225 |
146 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2274 |
145 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2318 |
144 | RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] | 2340 |
143 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2423 |
142 | 질문있습니다. [1] | 2545 |
141 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2716 |
140 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2720 |
139 | CVD 공정에서의 self bias [1] | 3033 |
138 | 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 | 3163 |
137 | electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] | 3167 |
136 | RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] | 3225 |
135 | plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] | 3316 |
134 | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3362 |
133 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3392 |