이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.

산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요

실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요

산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나

거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..

이유가 무엇일까요..?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76711
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20164
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68688
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92254
273 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 100
272 Microwave & RF Plasma [1] 108
271 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 122
270 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 136
269 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 146
268 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 156
267 corona model에 대한 질문입니다. [1] 169
266 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 170
265 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 186
264 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 197
263 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 206
262 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
261 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 250
260 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 306
259 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 310
258 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 314
257 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 319
256 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
255 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 343
254 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 355

Boards


XE Login