Ion/Electron Temperature 전자 온도에 대한 질문이 있습니다.

2021.08.12 16:29

박준우 조회 수:1011

안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76711
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20163
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68686
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92252
273 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 100
272 Microwave & RF Plasma [1] 108
271 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 122
270 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 136
269 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 146
268 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 156
267 corona model에 대한 질문입니다. [1] 169
266 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 170
265 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 186
264 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 197
263 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 206
262 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
261 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 250
260 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 306
259 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 310
258 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 314
257 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 319
256 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
255 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 343
254 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 354
쓰기
태그

Boards

XE Login